በቺፕ ማምረቻ ውስጥ 6 ቁልፍ እርምጃዎች ምንድ ናቸው?

እ.ኤ.አ. በ 2020 በዓለም ዙሪያ ከአንድ ትሪሊዮን በላይ ቺፖች ተመረተ ፣ ይህም በፕላኔታችን ላይ ያለ እያንዳንዱ ሰው በባለቤትነት እና በጥቅም ላይ ከዋለ 130 ቺፕስ ጋር እኩል ነው።ቢሆንም፣ ይህ ቁጥር ገና ከፍተኛ ገደቡ ላይ እንዳልደረሰ የቅርብ ጊዜ የቺፕ እጥረት ማሳየቱን ቀጥሏል።

ምንም እንኳን ቺፖችን በከፍተኛ መጠን ማምረት ቢቻልም, እነሱን ማምረት ቀላል ስራ አይደለም.ቺፖችን የማምረት ሂደት ውስብስብ ነው, እና ዛሬ ስድስቱን በጣም ወሳኝ ደረጃዎችን እንሸፍናለን-ማስቀመጥ, የፎቶሪስቲስት ሽፋን, ሊቶግራፊ, ኢቲች, ion implantation እና ማሸግ.

ማስቀመጥ

የማስቀመጫ ደረጃው ከ 99.99% ንጹህ የሲሊኮን ሲሊንደር (እንዲሁም “ሲሊኮን ኢንጎት” ተብሎም ይጠራል) ተቆርጦ እጅግ በጣም ለስላሳ በሆነ አጨራረስ ተቆርጦ በዋፈር ይጀምራል ፣ እና ከዚያ ቀጭን ፊልም ኮንዳክተር ፣ ኢንሱሌተር ወይም ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ይቀመጣል። የመጀመሪያው ንብርብር በላዩ ላይ እንዲታተም በመዋቅራዊ መስፈርቶች ላይ በመመስረት በቫፈር ላይ።ይህ አስፈላጊ እርምጃ ብዙውን ጊዜ "ተቀማጭ" ተብሎ ይጠራል.

ቺፕስ እያነሱ እና እያነሱ ሲሄዱ፣ በዋፍሮች ላይ የማተም ቅጦች ይበልጥ ውስብስብ ይሆናሉ።ቺፖችን ከመቼውም ጊዜ ያነሰ ለማድረግ እና በዚህም የሞር ህግን ለማስቀጠል የማስቀመጫ፣ ማሳከክ እና ስነ-ጽሑፍ እድገቶች ቁልፍ ናቸው።ይህ የማስቀመጫ ሂደቱን የበለጠ ትክክለኛ ለማድረግ አዳዲስ ቁሳቁሶችን የሚጠቀሙ አዳዲስ ቴክኒኮችን ያካትታል።

Photoresist ሽፋን

ከዚያም ቫፈርስ "photoresist" ("photoresist" ተብሎም ይጠራል) በሚባል የፎቶ ሰሪ ቁሳቁስ ተሸፍኗል።ሁለት ዓይነት የፎቶሪሲስቶች አሉ - "አዎንታዊ ፎቶግራፍ አንሺዎች" እና "አሉታዊ ፎቶግራፍ አንሺዎች".

በአዎንታዊ እና አሉታዊ photoresists መካከል ያለው ዋና ልዩነት የቁሱ ኬሚካላዊ መዋቅር እና የፎቶሪሲስት ለብርሃን ምላሽ የሚሰጥበት መንገድ ነው።በአዎንታዊ የፎቶሪሲስቶች ሁኔታ, ለ UV ብርሃን የተጋለጠበት ቦታ አወቃቀሩን ይለውጣል እና የበለጠ ይሟሟል, ስለዚህ ለመሳል እና ለማስቀመጥ ያዘጋጃል.አሉታዊ የፎቶሪሲስቶች በተቃራኒው ለብርሃን በተጋለጡ ቦታዎች ላይ ፖሊመርራይዝድ, ይህም ለመሟሟት የበለጠ አስቸጋሪ ያደርገዋል.በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በጣም ጥቅም ላይ የሚውሉት አዎንታዊ የፎቶሪሲስቶች ናቸው ምክንያቱም ከፍተኛ ጥራት ሊያገኙ ስለሚችሉ ለሊቶግራፊ ደረጃ የተሻለ ምርጫ ያደርጋቸዋል።በአሁኑ ጊዜ ለሴሚኮንዳክተር ማምረቻዎች የፎቶሪሲስቶችን የሚያመርቱ በርካታ ኩባንያዎች በዓለም ዙሪያ አሉ.

ፎቶግራፊ

ፎቶሊቶግራፊ በቺፑ ላይ ያሉት ትራንዚስተሮች ምን ያህል ትንሽ ሊሆኑ እንደሚችሉ ስለሚወስን በቺፕ ማምረቻ ሂደት ውስጥ ወሳኝ ነው።በዚህ ደረጃ, ቫዮሌቶች በፎቶሊቶግራፊ ማሽን ውስጥ ይጣላሉ እና ወደ ጥልቅ አልትራቫዮሌት ብርሃን ይጋለጣሉ.ብዙ ጊዜ ከአሸዋ ቅንጣት በሺህ እጥፍ ያነሱ ናቸው።

ብርሃን በ"ጭምብል ሳህን" በ wafer ላይ ይተነብያል እና የሊቶግራፊ ኦፕቲክስ (የ DUV ስርዓት መነፅር) እየጠበበ እና የተነደፈውን የወረዳ ንድፍ በማስታወሻው ሳህን ላይ ባለው የፎቶ ተከላካይ በ wafer ላይ ያተኩራል።ቀደም ሲል እንደተገለፀው, መብራቱ የፎቶሪሲስትን ሲመታ, በፎቶሪሲስት ሽፋን ላይ ባለው ጭምብል ላይ ያለውን ንድፍ የሚተክል ኬሚካላዊ ለውጥ ይከሰታል.

የተጋለጠውን ስርዓተ-ጥለት በትክክል ማግኘቱ ከባድ ስራ ነው፣ ከቅንጣት ጣልቃገብነት፣ ከንቀት እና ሌሎች አካላዊ ወይም ኬሚካላዊ ጉድለቶች ጋር በሂደቱ ውስጥ ሊኖሩ ይችላሉ።ለዚያም ነው አንዳንድ ጊዜ የታተመውን ንድፍ እኛ በምንፈልገው መልኩ እንዲመስል ለማድረግ በተለይ ጭምብል ላይ ያለውን ንድፍ በማረም የመጨረሻውን የተጋላጭነት ንድፍ ማመቻቸት አለብን።ስርዓታችን ስልተ-ቀመራዊ ሞዴሎችን ከሊቶግራፊ ማሽኑ መረጃ ጋር በማዋሃድ እና ቫፈርን ለመፈተሽ ከመጨረሻው የተጋላጭነት ንድፍ ፍፁም የተለየ የሆነ የማስክ ዲዛይን ለመስራት “የኮምፒውቲሽናል ሊቶግራፊ” ይጠቀማል። የሚፈለገው የመጋለጥ ንድፍ.

ማሳከክ

ቀጣዩ ደረጃ የተፈለገውን ስርዓተ-ጥለት ለማሳየት የተበላሸውን የፎቶ ተከላካይ ማስወገድ ነው.በ"etch" ሂደት ውስጥ ቫፈር ይጋገራል እና ይዘጋጃል፣ እና አንዳንድ የፎቶ ተቃዋሚዎች ታጥበው ክፍት የቻናል 3D ጥለት ያሳያል።የማሳከክ ሂደቱ የቺፑን መዋቅር አጠቃላይ ታማኝነት እና መረጋጋት ሳይጎዳ በትክክል እና በቋሚነት የሚመራ ባህሪያትን መፍጠር አለበት።የተራቀቁ የማስመሰል ቴክኒኮች ቺፕ አምራቾች የዘመናዊ ቺፕ ዲዛይኖችን ጥቃቅን ልኬቶች ለመፍጠር ድርብ፣ አራት እጥፍ እና ስፔሰር-ተኮር ቅጦችን እንዲጠቀሙ ያስችላቸዋል።

እንደ photoresists, etching ወደ "ደረቅ" እና "እርጥብ" ዓይነቶች ይከፈላል.ደረቅ ማሳከክ በቫፈር ላይ ያለውን የተጋለጠ ንድፍ ለመወሰን ጋዝ ይጠቀማል.እርጥብ ማሳከክ ቫፈርን ለማጽዳት ኬሚካላዊ ዘዴዎችን ይጠቀማል.

ቺፕ በደርዘን የሚቆጠሩ ንብርብሮች አሉት፣ስለዚህ የባለብዙ ንብርብር ቺፕ መዋቅርን ስር ያሉትን ንጣፎች እንዳይጎዳ ማሳከክ በጥንቃቄ ቁጥጥር ሊደረግበት ይገባል።የማቅለጫው ዓላማ በመዋቅሩ ውስጥ ክፍተት ለመፍጠር ከሆነ, የጉድጓዱ ጥልቀት በትክክል ትክክለኛ መሆኑን ማረጋገጥ አስፈላጊ ነው.እንደ 3D NAND ያሉ እስከ 175 ንብርብሮች ያሉት አንዳንድ ቺፕ ዲዛይኖች የማሳከሚያውን ደረጃ በተለይ አስፈላጊ እና ከባድ ያደርጉታል።

ion መርፌ

ንድፉ በዋፋው ላይ ከተቀረጸ በኋላ፣ የስርዓተ-ጥለት ከፊል ባህሪያቱን ለማስተካከል ቫፈሩ በአዎንታዊ ወይም በአሉታዊ ionዎች ተሞልቷል።ለዋፋዎች እንደ ማቴሪያል, ጥሬ እቃው ሲሊከን ፍጹም መከላከያ ወይም ፍጹም መሪ አይደለም.የሲሊኮን ኮንዳክቲቭ ንብረቶች በመካከል ውስጥ ይወድቃሉ.

የቺፑ መሰረታዊ የግንባታ ብሎኮች የሆኑትን የኤሌክትሮኒካዊ ማብሪያ ማጥፊያዎችን ለመፍጠር የኤሌክትሪክ ፍሰቱን ለመቆጣጠር እንዲቻል በሲሊኮን ክሪስታል ውስጥ የተከሰሱ ionዎችን መምራት “ionization” በመባልም ይታወቃል፣ “ion implantation” በመባልም ይታወቃል።ንብርብሩን ion ከተሰራ በኋላ, ያልታሸገውን ቦታ ለመከላከል ጥቅም ላይ የሚውለው የፎቶሪሲስት ቀሪው ይወገዳል.

ማሸግ

በ wafer ላይ ቺፕ ለመፍጠር በሺዎች የሚቆጠሩ እርምጃዎች ያስፈልጋሉ, እና ከዲዛይን ወደ ምርት ለመሄድ ከሶስት ወራት በላይ ይወስዳል.ቺፑን ከዋፋው ላይ ለማስወገድ የአልማዝ መጋዝን በመጠቀም ወደ ግለሰብ ቺፕስ ተቆርጧል.እነዚህ ቺፕስ፣ “ባሬ ዳይ” የሚባሉት ከ12-ኢንች ዋፍር የተከፋፈሉ ሲሆን በሴሚኮንዳክተር ማምረቻ ውስጥ በጣም የተለመደው መጠን ነው፣ እና የቺፕስ መጠናቸው ስለሚለያይ አንዳንድ ዋፍሮች በሺዎች የሚቆጠሩ ቺፖችን ሊይዙ ይችላሉ ፣ ሌሎች ደግሞ ጥቂት ብቻ ይይዛሉ። ደርዘን

እነዚህ ባዶ ዋፍሮች በ "substrate" ላይ ይቀመጣሉ - የግብአት እና የውጤት ምልክቶችን ከባዶ ዋፈር ወደ ቀሪው ስርዓት ለመምራት የብረት ፎይልን ይጠቀማል.በመቀጠልም "በሙቀት ማጠራቀሚያ" ተሸፍኗል, ትንሽ, ጠፍጣፋ የብረት መከላከያ ኮንቴይነር ማቀዝቀዣ ያለው መያዣ, በሚሠራበት ጊዜ ቺፕው እንዲቀዘቅዝ ያደርጋል.

የድርጅቱ ህይወት ታሪክ

ዜይጂያንግ ኒኦዴን ቴክኖሎጂ ኮ

ከ 130 በላይ ሀገሮች በአለምአቀፍ መገኘት, እጅግ በጣም ጥሩ አፈፃፀም, ከፍተኛ ትክክለኛነት እና የኒዮዴን አስተማማኝነትፒኤንፒ ማሽኖችለ R&D፣ ለሙያዊ ፕሮቶታይፕ እና ከትንሽ እስከ መካከለኛ ባች ምርት ፍጹም ያደርጋቸዋል።የአንድ ማቆሚያ SMT መሳሪያዎችን ሙያዊ መፍትሄ እናቀርባለን.

አክል፡ No.18፣ Tianzihu Avenue፣ Tianzihu Town፣ Anji County፣ Huzhou City፣ Zhejiang Province፣ ቻይና

ስልክ፡ 86-571-26266266